TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)的发展，为人类提供更宽大的视觉接口与更高分辨率的色彩，随着人们对更大尺寸更低成本的显示器的需求，用于生产TFT-LCD的玻璃基板尺寸也逐步扩大，从最早的一代线约320mm*400mm到目前最大的10代线3130mm*2880mm，目前国内的生产商以5代线1100mm*13000mm居多。
上海元佳能为TFT-LCD工厂提供的高纯特气有：NF3、NH3、SiH4等。
| Product | Valve | Purity | Cylinder type |
| SiH4 | DISS632 P | ≥99.9999% | Y |
| NF3 | DISS640 | ≥99.99% | Y |
| NH3 | DISS720 | ≥99.999% | Tonner |
| SF6 | DISS716 | ≥99.999% | cylinder |
| Cl2 | DISS634/CGA660 | ≥99.999% | cylinder/Y |
| 1%PH3/H2 | DISS632 | ≥99.9997% | cylinder |
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