
TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)的发展,为人类提供更宽大的视觉接口与更高分辨率的色彩,随着人们对更大尺寸更低成本的显示器的需求,用于生产TFT-LCD的玻璃基板尺寸也逐步扩大,从最早的一代线约320mm*400mm到目前最大的10代线3130mm*2880mm,目前国内的生产商以5代线1100mm*13000mm居多。
上海元佳能为TFT-LCD工厂提供的高纯特气有:NF3、NH3、SiH4等。
Product | Valve | Purity | Cylinder type |
SiH4 | DISS632 P | ≥99.9999% | Y |
NF3 | DISS640 | ≥99.99% | Y |
NH3 | DISS720 | ≥99.999% | Tonner |
SF6 | DISS716 | ≥99.999% | cylinder |
Cl2 | DISS634/CGA660 | ≥99.999% | cylinder/Y |
1%PH3/H2 | DISS632 | ≥99.9997% | cylinder |
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