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TFT-LCD行业

TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)的发展,为人类提供更宽大的视觉接口与更高分辨率的色彩,随着人们对更大尺寸更低成本的显示器的需求,用于生产TFT-LCD的玻璃基板尺寸也逐步扩大,从最早的一代线约320mm*400mm到目前最大的10代线3130mm*2880mm,目前国内的生产商以5代线1100mm*13000mm居多。

上海元佳能为TFT-LCD工厂提供的高纯特气有:NF3、NH3、SiH4等。

气体种类:
Product Valve Purity Cylinder type
SiH4 DISS632 P ≥99.9999% Y
NF3 DISS640 ≥99.99% Y
NH3 DISS720 ≥99.999% Tonner
SF6 DISS716 ≥99.999% cylinder
Cl2 DISS634/CGA660 ≥99.999% cylinder/Y
1%PH3/H2 DISS632 ≥99.9997% cylinder

 

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