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氯化氢

常规应用

·半导体

 ——硅

     ·反应炉的清洁

     ·在外延片蚀刻前清洁由于机械抛光处理造成的沉积在晶体表面的缺陷

     ·对需要表面外延的多晶硅进行蚀刻

——化合物

     ·正发展成OEM的首选清洁气体

·化工——化工氯化物中间品的制造

 

外延生长的应用

    定义:在单晶衬底(基片)上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层,犹如原来的晶体向外延伸了一段,故称外延生长。

 

ASM's Epsilon®

 

    Epsilon系列的单晶硅外延装置

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