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普气、特气

气体广泛应用于多种行业。气体产品品种多样,我们可以提供多种供气服务,以便满足不同客户的需求。
供应方式有小钢瓶,Y瓶,T瓶,ISO槽车,现场供气等。

主要的特气产品有以下类别:
气体种类:特气HCl, TCS, SiH4, NH3, N2O, BCl3, CF4, C4F8, NF3,SF6, PH3 mixture, B2H6 mixture, SiH4 mixture。普气Ar, O2, H2, N2
纯度:电子级,99.99%, 99.999%或以上。
包装:44L, 47L, 49L, 500L, 1000L, etc...
应用领域:IC, TFT-LCD, PV, LED中的Diffusion, Dry Etching或Thin Film等工艺。
产品实例:
   
   
   
主要气体的应用: 氨气(NH3)        氯化氢(HCl)        TCS(三氯氢硅)
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技术支持:一阳工作室

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